国家标准对表面粗糙度测量的要求是实现三维测量，而光散射原理正好与之吻合，

它可实现表面的面积采样，同时所形成的散射光带光能分布和表面微观形貌高度变化有较清晰的对应关系。利用光散射法测量表面粗糙度可满足快速动态、高精度、无损检测及抗干扰性能强的要求。还有不少学者提出以其作为表面粗糙度基本仪器来改变基于传统触针式仪器的形状，从而推动新原理、新仪器的发展，满足生产实际的需要。基于这种原理，人们提出了一种激光散射法在线检测表面粗糙度的方法。

   图11.10所示为激光散射法在线检测表面粗糙度的光学原理图，半导体激光器1输出光功率为3 mW、波长为780 nm的光束，该激光束通过偏振片3成为线偏振光，偏搌方向平行于纸面，分光镜11将光束一分为二，其中反射光占大部分。经分光镜11反射的一束光为测量光束，该光束经平面镜4反射，调整分光镜11和平面镜4的角度，使该光束经平面镜4反射后，后由图11.10所示的位置入射到测量透镜6(厂=40 mm，D=30 mm)上，经测量透镜6会聚后，到达工件表面，经工件表面散射后，形成与工件表面加工纹理方向垂直的散射带。