國家標準對表面粗糙度測量的要求是實現三維測量，而光散射原理正好與之吻合，

它可實現表面的面積采樣，同時所形成的散射光帶光能分布和表面微觀形貌高度變化有較清晰的對應關系。利用光散射法測量表面粗糙度可滿足快速動態、高精度、無損檢測及抗干擾性能強的要求。還有不少學者提出以其作為表面粗糙度基本儀器來改變基于傳統觸針式儀器的形狀，從而推動新原理、新儀器的發展，滿足生產實際的需要。基于這種原理，人們提出了一種激光散射法在線檢測表面粗糙度的方法。

   圖11.10所示為激光散射法在線檢測表面粗糙度的光學原理圖，半導體激光器1輸出光功率為3 mW、波長為780 nm的光束，該激光束通過偏振片3成為線偏振光，偏搌方向平行于紙面，分光鏡11將光束一分為二，其中反射光占大部分。經分光鏡11反射的一束光為測量光束，該光束經平面鏡4反射，調整分光鏡11和平面鏡4的角度，使該光束經平面鏡4反射后，后由圖11.10所示的位置入射到測量透鏡6(廠=40 mm，D=30 mm)上，經測量透鏡6會聚后，到達工件表面，經工件表面散射后，形成與工件表面加工紋理方向垂直的散射帶。